Область применения:

Универсальная установка с боксовой камерой. Может быть оснащена практически любыми источниками осаждения и вспомогательными устройствами, такими как электронно-лучевая пушка, источники термического испарения, распыления, ионная пушка, тлеющий разряд, масс-спектрометр, оптический монитор, лазерный детектор конечной точки, интерферометр, эллипсометр, и др.

Техническая спецификация:

Прямоугольная камера из нержавеющей стали с трубами водяного охлаждения и 4” смотровыми окнами, высокопроизводительная автоматическая откачная система, ПЛК контроллер и различные держатели подложек, включая фиксированный охлаждаемый держатель, вращающийся и планетарный держатель с фиксированным или регулируемым углом.

Модель TFDS 141-K:

• Компактная высоковакуумная установка для нанесения высококачественных оптических покрытий.
• Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
• Шесть пластинок для подложек диаметром 150 мм с регулируемым углом.
• Нагреватель подложек - 4 кВт кварцевые лампы (4Х1000 Вт).
• Электронно-лучевая пушка с испарителем на 4Х40 куб. см.
• Два источника термического испарения 1000А.
• Полностью автоматический контроллер осаждения.
• Библиотека материалов и процессов.
• Шесть держателей кварцевых датчиков толщины.

Модель TFDS 141-T:

• Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных стекол и пластиков.
• Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
• Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт).
• Четыре источника термического испарения.
• Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
• Библиотека материалов и процессов.
• Осаждение с ассистированием ионным лучом.

Модель TFDS 141-E:

• Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для малогабаритных полупроводниковых заготовок.
• Восемь плоских держателей подложек диаметром 6” с регулируемым углом.
• Нагреватель подложек из 3 кВт кварцевых ламп (6Х500 Вт).
• Электронно-лучевая пушка с испарителем на 6Х25 куб. см.
• Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
• Библиотека материалов и процессов.
• Высокопрецизионный изменяемый на 90° угол испарения.
• Лазерный регулировочный инструмент для подложек.
• Вращающиеся плоские держатели.

Модель TFDS 141-P:

• Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных защитных покрытий.
• Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
• Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт).
• Мощный источник плазмы высокой однородности.
• Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
• Настройка системы по требованиям клиента.