Установка с двумя параллельными вакуумными камерами и единой системой откачки. Предназначена для производственных применений, где требуется высокая производительность и небольшой бюджет.
Базовое давление: |
2Х10-7 Торр |
Среднее время откачки: |
90 минут (откачка сухого N2) |
Насосы: |
Крионасос, механический масляный пластинчато-роторный насос |
Ловушка: |
Окись алюминия |
Камера: |
Охлаждаемая водой, внутренний диаметр 18”, высота 20”, нержавеющая сталь |
Смотровые окна: |
Два смотровых окна, внутренний диаметр 4”, с заслонками |
Нижняя пластина: |
Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
Верхняя пластина: |
Внешний диаметр 22”, толщина 1”, нержавеющая сталь |
Клапаны: |
Электро-пневматические, нержавеющая сталь |
Мишени электронно-лучевой пушки: |
4Х7 куб. см |
Электропитание электронно-лучевой пушки: |
6 кВт |
Тлеющий разряд: |
Переменный ток, самоограниченный блок питания |
Нагреватель: |
Кварцевые лампы 1,4 кВт |
Датчики: |
Ионный датчик; термопарный датчик; Пирани |
Контроль толщины: |
Maxtek 100 |
Управление: |
Встроенный ПЛК |
Стойка: |
Алюминиевые профили |
Подъемники (нижняя и верхняя пластины): |
Электрические подъемники с приводом от ходового винта, с вакуумной блокировкой, с верхними и нижними концевыми выключателями |