Описание:

Реакторная система жидкофазной эпитаксии (LPE) состоит из печи с регулируемым технологическим процессом для осуществления автоматизированных, устанавливаемых пользователем, выполняемых по сегментам, наборов команд, обеспечивающих оптимальное управление обработкой подложек и повторяемость результатов от партии к партии. Комплексная система разработана с целью обеспечения для пользователя надежности и воспроизводимости результатов при выращивании эпитаксиальных слоев из жидкой фазы.

Система LPE способна обрабатывать подложки в однородной пологой температурной области. Все элементы системы расположены на боковой, верхней или передней части печи, и слева либо справа от перчаточного бокса.

Автоматическая, консольная, бесконтактная система загрузки пластин используется для подачи и выгрузки графитовой технологической емкости. Система загрузки состоит из кварцевого держателя емкости, расположенного на кронштейне со стороны автоматического оконечного блока. Оконечный блок подает технологическую емкость в рукав кварцевого конденсора внутри кварцевой технологической камеры. Скорость подачи системы загрузки регулируется от 50 до 300 мм/мин. Блокирующие устройства предотвращают запуск процесса в случае неполного закрытия двери.

CVD Equipment Corporation также предлагает вертикальную систему погружения для жидкофазной эпитаксии при выращивании более толстых пленок с большей скоростью, например HgCdTe (MCT). Она работает при давлении до 200 PSIG и температуре до 600 °C. Система оснащена загрузочным шлюзом, который может быть вакуумирован до 10-6 торр и может находиться под давлением до 200 PSIG.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Многозонная передвижная электропечь сопротивления для температур до 1000 °C с управлением нагрева и охлаждением емкости для жидкофазной эпитаксии 
• Графитовая емкость высокой чистоты для  жидкофазной эпитаксии 
• Перчаточный бокс с загрузочным шлюзом
• Автоматическое передвижное устройство для емкости
• Встроенная вакуумная система до 10-6 торр
• Выбираемые пользователем предупреждающие и аварийные сигналы
• Полная защитная блокировка программного и аппаратного обеспечения
• Гарантия 1 год

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

 

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.