Описание:

FlexGas™ обеспечивает все необходимые функциональные требования для подачи газа. Принцип модульной конструкции позволяет использовать блочный метод конфигурации газовой панели в соответствии с требуемой спецификацией. Больше нет необходимости переплачивать за систему с установленными избыточными компонентами. Вначале необходимо выбрать одну из нескольких конфигураций. Модификация на уровне газовой панели позволяет выбрать степень требуемой чистоты. Начиная со стандартной панели для газа сверхвысокой чистоты с 3-мя клапанами можно добавлять функции продувки (4 клапана) или продувки/откачки (6 клапанов).

Опциональный контроллер FlexPower™ добавляет в систему надежности. Панели для отключения при срабатывании аварийного сигнала комплектуются электромагнитным нормально закрытым клапаном ESO для автоматического отключения. ESO контроллер поддерживает конфигурацию входов и выходов с сухими контактами. Дополнительными опциями управления отключением являются датчик давления на выходе, детектор утечки газа, УФ/ИК датчик.

Свойства контроллера FlexPowr™

• Автоматическое отключение газовых панелей
• Устанавливаемые пользователем аварийные сигналы
• Устанавливаемые пользователем выходы
• Совместимость с системой SCADA
• Протокол Modbus TCP
• Звуковые/визуальные сигналы аварийной сигнализации
• Кнопка аварийного отключения питания
• Многоуровневая защита паролем

Свойства распределительной панели

• Материал конструкции для газа сверхвысокой чистоты: панели и манифольды изготовлены с применением орбитальной сварки и фитингов VCR, сталь 316L, SS (10 Ra)
• Сборка и испытание для класса чистой комнаты CLASS 100 / CLASS 10
• Стандартные конфигурации
• Конструкция с 1 клапаном
• Конструкция с 2 клапанами
• Конструкция с 3 клапанами (выпускной клапан высокого давления)
• Конструкция с 4 клапанами (добавлена функция продувки)
• Конструкция с 5 клапанами (добавлен выпускной клапан низкого давления)
• Конструкция с 6 клапанами (добавлена функция откачки)

Опции

• Степень обработки поверхности 5 Ra
• Двухступенчатые регуляторы
• Выходные фильтры
• Фитинги баллона стандарта DISS
• Весы для баллона
• Клапана стравливания давления
• Датчик давления на выпуске
• Датчик высокого давления в баллоне
• Датчик высокого давления подачи
• Датчик ограничителя расхода
• Ограничительные отверстия потока