Описание:
ZEISS SIGMA – это линейка электронных микроскопов с автоэмиссионным катодом, которые позволяют получать нанометровое разрешение, а также имеют стабильные значения токов пучка, что важно для длительных экспериментов и исследований.
SIGMA VP позволяет работать в низком вакууме и исследовать образцы при давлении в камере до 133 Па. Используется для работы с грязными, плохо проводящими, газящими и биологическими образцами, а также в статистике отказов деталей и узлов.
Катод
|
Катод Шотки с термополевой эмиссией
|
Разрешение
|
Sigma 300: 1.2 нм/ @ 15кВ; 2.2 нм/ @ 1кВ // Sigma 500 0.8 нм/ @ 15кВ; 1.6 нм/ @ 1кВ
|
Ускоряющее напряжение
|
0.2 – 30 кВ
|
Увеличение
|
1 000 000 х
|
Детекторы
|
In-lens SE-внутрилинзовый детектор вторичных электронов // INLENS-DUO – сдвоенный внутрилинзовый детектор вторичных и обратноотраженных электронов // BSD – детектор обратнорассеяных электронов // ETSE – детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли // VPSE – детектор вторичных электронов для VP режима // CL – катодолюминесцентный детектор // SCD – измеритель тока через образец // STEM – детектор проходящих электронов (просвечивающий режим)
|
Столик
|
5-осевой компуцентрический столик
|
Оси
|
125 мм х 125 мм х 50 мм (X, Y, Z) // -10 – +90 градусов (ось T, наклон) // 360 градусов без ограничителя (ось R, вращение)
|
Режим
|
Режим высокого вакуума, режим переменного давления
|
Микроскопы ZEISS SIGMA оснащены колонной GEMINI с интегрированным в линзу электронным детектором вторичных электронов. Благодаря этому оператор получает непревзойденное разрешение, яркость и контрастность изображения образцов при высоком уровне топографии.
Большой объем памяти в сочетании с высокоскоростным сканированием пучком электронов позволяет осуществлять быстрое получение карты распределения элементов по поверхности с высоким разрешением. Камера для образцов допускает параллельное использование двух детекторов ЭДС, которые монтируются на противоположных друг от друга стенках для достижения максимального пространственного угла. Для чувствительных к пучкам электронов образцов при применении системы из двух ЭДС возможна работа при малых зондовых токах с сохранением высокой скорости счета рентгеновских квантов.
Микроскопы ZEISS SIGMA легко справляются с получением изображений при низких ускоряющих напряжениях, а также при работе с непроводящими образцами без предварительной пробоподготовки. Это особенно важно при работе с крупногабаритными деталями, в полупроводниковой промышленности и для центров коллективного пользования. Для нужд атомной промышленности возможно защищенное исполнение микроскопов, удаленная работа оператора, а также применение специальных боксов для перегрузки образцов.
Области применения:
Аэрокосмическая и автомобильная промышленность
- Рутинный анализ для обеспечения требований качества и долговечности изготовленных компонент
- Изображения и анализ структуры металлов, трещин
- Исследования неметаллических включений в стали, изломов, границ зерен, дислокаций и дефектов упаковки
- Анализ отказов, исследования коррозии металлов
- Идентификация фаз
- Анализ термостойкости и характеристик покрытий и композитных материалов
- Анализ композитных материалов, покрытий и текстиля
- Производственная чистота
- Проверка чистоты производимых компонентов. Автоматический анализ частиц и определение морфологии и химического анализа для соответствия стандарту ISO 16232 Metals & Steels.
Атомная промышленность
- Исследования радиоактивных материалов
- Анализ отказов.
Наука о материалах
- Изображения высокого разрешения и анализ инновационных наноматериалов
- Анализ покрытий и тонких пленок
- Изображения конструкционных наноматериалов
- Анализ наноструктурированных керамик
- Анализ нанопорошков и суспензий
- Анализ кристаллографической огранки зёрен, степени их совершенства
- Наличия фрагментированных кристаллов, разделённых на домены, что является следствием фазовых превращений в кристаллах
- Наличия субмикроскопических двойников и ламелей распада твёрдых растворов
- Исследования наночастиц, нанотрубок, структуры ядра-оболочек
- Исследования гетероструктуры и поверхности тонких пленок
- Цеолиты, каталитические материалы
- Композиты и полимеры
Наука о жизни
- Изображения высокого разрешения и высокопроизводительный анализ биологических образцов с крио-фиксацией
- Получение изображений высокочувствительных к электронному пучку биоорганизмов
- Исследования влажных образцов без артефактов дегидратации, а также процессов увлажнения и переувлажнения
- Получение изображений грибков и бактерий в их естестественном состоянии
- Получение изображений контрастирорванных вирусов и частиц бактериофагов
- Получение 3D изображений больших объемов биоматериалов с помощью последовательного получения ультратонких срезов в камере микроскопа.
Криминалистика
- Сбор и анализ доказательств с мест преступлений, в том числе анализ следов огнестрельных выстрелов (GSR), анализ краски и стекла, банкнот и монет, сравнение волос и волокон
- Судебная токсикология, палинология
- Доказательства сексуального насилия и анализ ДНК.
Исследования сырья
- Быстрый, точный минералогический анализ образцов породы
- Анализ железосодержащих и алюминиевых сплавов, в том числе высококристаллической ферритмартенситной стали, сильнолегированной высокопрочной стали для сварки, литого чугуна в отливке и аустенированных и высокопрочных алюминиевых сплавов
- Качественная диагностика и определение химического состава металлических порошков, сплавов и соединения
- Исследования размеров и формы зёрен, слагающих тонкодисперсные руды и минералы
- Выявления микро-трещин и систем микродислокаций в деформированных породах и минералах
- Обнаружения треков – следов повреждений, образовавшихся в процессе радиоактивного распада при движении заряженных элементарных частиц в минералах (по длине и плотности треков можно оценивать возраст минералов.
Медицина
- Исследования структуры и покрытия стентов и хирургических проволочек
- Полупроводниковая электроника
- Обеспечение и контроль качества полупроводников и электроники с субнанометровым разрешением, в том числе внутренней структуры полевых транзисторов, полученных по технологии 22 нм, транзисторов с баллистическим транспортом, лазеров на основе A3B5, приборов спинтроники, в том числе спинового транзистора и др.
- Исследования кремниевых пластин, шаблонов, в том числе полученных электронной и ионной литографией
- Исследования солнечных элементов
- Исследования элементов питания
- Исследования качества металлизации и гальванопокрытий
- Анализ отказов электронных компонентов
- Исследования механических и электрических свойств электронных компонентов
- Исследования приборов одноэлектроники.
Химия
- Морфологический и композиционный анализ химического сырья и активных ингредиентов во время процессов микронизации и грануляции
- Изучение химических реакций in-situ
- Динамические исследования материалов в естественном состоянии
- Исследования катализаторов, полимеров и композитов, а также новых синтетических материалов
- Исследования процессов гетерогенного кристаллообразования
- Гидратация, химия и минералогия цемента
- Получение распределений элементного состава объемных материалов с латеральным разрешением в несколько мкм.